CAMECA 전자탐침미세분석기는 낮은 가속 전압과 강력한 빔 전류가 함께 존재하는 실험 조건을 제공합니다. 이렇게 최적화된 조건에서는 전자와 시료 간의 상호작용 볼륨이 감소하고 고성능 공간 분해능에 도달할 수 있습니다.
X선 맵은 사방휘석 내 단사휘석의 용리엽에서 획득되었습니다. 이 얇은 층의 너비는 수백 나노미터에 불과합니다. 두 위상은 완전한 집속 스폿으로 분석되며 EPMA의 고성능 공간 분해능을 보여줍니다.
Ca와 Mg에서 획득된 X선 맵은 공간 분해능 최적화에 알맞은 낮은 빔 전압과 X선 감지 최적화에 알맞은 고감도 크리스탈이 결합된 CAMECA EPMA의 우수한 능력을 보여줍니다.
정량 분석은 집속 전자 빔을 사용하여 8keV 및 20nA 단사휘석 상과 사방휘석 상 모두에서 수행되었습니다. 아래의 데이터 세트는 CAMECA 전자탐침미세분석기의 정확한 정량 원소 조성을 확인하는 탁월한 능력을 보여줍니다.
사방휘석 정량 분석:
| Na2O
| MgO
| SiO2
| Al2O3
| CaO
| FeO
| MnO
| 합계
|
| 3/1 | 0.001 | 31 | 54.84
| 1.14 | 0.73 | 11.09
| 0.26 | 99.06 |
| 7/1 | 0.03 | 31.04 | 54.77 | 1.13 | 0.62 | 12.3
| 0.29 | 100.2 |
| 8/1 | 0.01 | 31.09 | 54.54
| 1.15 | 0.72
| 11.77
| 0.88 | 100.16 |
| 9/1 | 0.01 | 30.85 | 54.54
| 1.11 | 0.79
| 12 | 0.71 | 100.02
|
| 12/1 | 0.02 | 30.8 | 54.71
| 1.11 | 0.68
| 11.52 | 0.23 | 99.09
|
| 평균 | 0.02 | 30.96
| 54.68
| 1.13 | 0.71
| 11.74 | 0.47 | 99.71
|
단사휘석 정량 분석:
| Na2O
| MgO
| SiO2
| Al2O3
| CaO
| FeO
| MnO
| 합계
|
| 4/1 | 0.44 | 16.81
| 51.99
| 1.68 | 25.48
| 3.37
| 0.06 | 99.83 |
| 5/1 | 0.38 | 17.29
| 52.18 | 1.28 | 25.38
| 3.44
| 0.15 | 100.1 |
| 6/1 | 0.43 | 16.35
| 52.35
| 1.58 | 25.54
| 3.72
| 0.21 | 100.18 |
| 10/1 | 0.41 | 16.95
| 52.56
| 1.65 | 25.68
| 3.02
| 0.39 | 100.66
|
| 11/1 | 0.45 | 16.79
| 52.54
| 1.68 | 25.59
| 3.67
| 0.05 | 100.77
|
| 평균 | 0.42 | 16.84
| 52.32
| 1.57 | 25.53
| 3.44
| 0.17 | 100.31
|