서브 나노미터에서 수십 나노미터의 깊이 분해능으로 미량원소의 벌크 조성 및 깊이방향의 분포 분석을 가능하게 하는 Dynamic SIMS의 기본 원리
유리, 금속, 세라믹, 실리콘 기반 소재, III-V 및 II-VI, 벌크 재료, 박막 등과 같이 까다로운 응용 분야에 최적화되었으며 독보적인 검출 한계를 갖춘 자동 SIMS
안정 동위 원소, REE(희토류 원소), 미량 원소 등의 지질 시료의 측정에 사용되는 콤팩트한 대량 고속 분석형 SIMS 장비
지구과학 응용 분야를 위해 탁월한 분석 성능을 갖춘 Large Geometry SIMS 질량분석기: 안정 동위원소, 미량 원소, 지질연대학, 입자 분석 등
대량을 고속 처리하는 간편 사용 플랫폼에서 동시 U-Th-Pb 동위원소 분석을 위해 기준 감도를 갖춘 지질연대학 전용 SIMS 마이크로프로브.
세계적으로 호평을 받는 NanoSIMS 50/50L 2차 이온 질량 분석기 시리즈의 후속 제품인 NanoSIMS-HR은 전례 없는 30nm 측면 분해능, 높은 처리량, 신뢰성 및 가동 시간, 극저온 기능을 제공합니다.
재료, 지질학, 행성 및 생명 과학 분야에서의 초미세 특성 분석용 SIMS 마이크로프로브
대량 반도체 제조를 위해 실시간 조성 측정을 실행하는 전자동 인라인 SIMS
첨단 반도체 애플리케이션용 고성능 저에너지 SIMS 장비 : 저에너지와 고에너지 주입, 초박형 질화 산화막, high-k metal gates, SiGe 도핑층, Si:C:P 구조, PV 및 LED 장치, 그래핀
사종극자 SIMS는 반도체 분야를 위해 기준이 되는 매우 낮은 깊이방향 프로파일링 기능을 제공하면서 사용이 간편합니다.
핵 연구 및 산업을 위한 차폐형 SIMS 분석기: 고방사성 물질의 안전한 고정밀 분석.