CAMECA SIMS 장비는 조성을 조사하고 다양한 층에서 도펀트 및 불순물의 원소 분포를 특성화 분석하는 데 매우 유용하여 새로운 LED 디바이스의 연구 및 개발과 공정 제어에 최상의 선택입니다.
IMS 7f-Auto는 Si 기반 태양 전지 디바이스의 고수율 제조를 보장하는 데 반드시 필요한 Si 정제 공정의 품질 관리에 적합한 장비입니다.
질소 플라즈마로 도핑된 아산화구리(Cu2O) 필름의 SIMS 질소 농도 깊이 프로파일은 저비용 태양 에너지 변환 및 광촉매에 사용되는 해당 물질의 전도성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.
Dynamic SIMS 장비는 다양한 GIGS 박막의 원소 심층 분석(매트릭스 종 및 알칼리 금속 Na 및 K)을 특성화 분석하는 데 매우 적합합니다.